該工藝是將鈦醇鹽氣化成蒸氣或經(jīng)噴嘴霧化成微小的液滴，然后與水蒸氣反應(yīng)，可以用來(lái)合成單分散的球形納米TiO2。由于反應(yīng)溫度不高，所制備的納米TiO2通常為非晶型或銳鈦型，如要得到金紅石型納米TiO2，還需要經(jīng)過(guò)高溫煅燒。其反應(yīng)式如下：

nTi(OR)4(g)+4nH2O(g)===nTi(OH)4(s)+4nROH(g)nTi(OH)4(s)===nTiO2·H2O(s)+nH2O(g)

nTiO2·H2O(s)===nTiO2(s)+nH2O(g)

胡黎明等用低溫氮?dú)饫浼じ邷氐獨(dú)鈹y帶的Ti(OC4H9)4蒸氣，形成亞微米級(jí)的液滴，再與水蒸氣反應(yīng)，在較低溫度下合成了純度高且單分散性好的納米粒子，將上述過(guò)程分解為混合段和反應(yīng)段，導(dǎo)出表征顆粒成核與生長(zhǎng)的全混反應(yīng)器串級(jí)模型。該模型較好地解釋了實(shí)驗(yàn)現(xiàn)象和結(jié)果，理論預(yù)測(cè)和實(shí)驗(yàn)研究表明，產(chǎn)物顆粒的粒徑與反應(yīng)器中流動(dòng)、混合狀況及反應(yīng)體系的熱力學(xué)性質(zhì)有關(guān)。

日本曹達(dá)株式會(huì)社和出光興產(chǎn)株式會(huì)社利用氮?dú)?、氦氣和空氣除為載氣，把鈦醇鹽蒸氣分別導(dǎo)入反應(yīng)器的反應(yīng)區(qū)，進(jìn)行瞬間混合和快速水解反應(yīng)。通過(guò)改變反應(yīng)區(qū)中各種蒸氣的停留時(shí)間、摩爾比、流速、濃度以及反應(yīng)溫度來(lái)調(diào)節(jié)納米TiO2的粒徑和粒子形狀。這種制備工藝可以獲得平均原始粒徑為10~150mm，比表面積為50~300m2/g的非晶型納米TiO2。如果將鈦醇鹽蒸氣、水蒸氣和有機(jī)表面處理劑一起導(dǎo)入反應(yīng)器，在鈦醇鹽蒸氣氣相水解、形成納米TiO2以后，可以對(duì)TiO2粒子再進(jìn)行有機(jī)表面處理，制備的納米TiO2可用于油漆、高分子材料催化劑等領(lǐng)域。這種工藝的特點(diǎn)是操作溫度低，能耗小，對(duì)材質(zhì)要求不是很高，并且可以連續(xù)化生產(chǎn)。缺點(diǎn)是原料成本高，不能直接合成金紅石型納米TiO2。